About Us
关于我们
博福特公司自引入美国技术,用于以极紫外(EUV)光刻技术进行批量IC制造。与国内光刻机制造商密切互动面开发,已率先通过企业不测试认证,并已用于BFT:6000B等产品。
随着芯片生产制造开始更多地使用EUV光刻技术进行先进技术制程的大批量制造(HVM),对EUV光罩无缺陷的要求比以往任何时候都要严格。BEAUFORT的光罩盒等产品已经通过企业全面认证并大批量实际使用,可用于他们的最新一代光刻机,并展现了出色的光罩保护性能,包括解决最关键的微粒污染,BEAUFORT的BFT-6000B也因此让客户能够安全地过渡到最先进的光刻工艺所需的越来越小的线宽。
为了在光刻机中实现上述性能,BEAUFORT开发了用于接触光罩和控制环境的新技术。BEAUFORT BFT-6000B代表了缺陷率改进方面的得到重大突破,利益于此,先进技术制程客户可以专注于提高效率和产量,与国内光刻机企业的良好互动和测试确保了符合最先进光刻机的要求。
关于BEAUFORT
BEAUFORT是面向芯片制造和其他高科技行业的先进材料解决方案领域的领导者。



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